FFKM er et tetningsmateriale med høy ytelse. Den utmerkede ytelsen har tillatt bruken av den å trenge inn i hele produksjonssystemet for halvlederprodukter. Blant dem er FFKM tetningsringer en av de viktigste forbruksvarer som kreves for produksjon av integrerte kretser.
strukturen og ytelsesegenskapene til FFKM
FFKM er kopolymerisert av tetrafluoretylen (TFE), perfluoralkylvinyleter (PAVE) som hovedmonomerer, og en liten mengde herdepunktmonomer (CSM). Som vist i figuren under er alle karbonatomer i polymeren. Hydrogenatomene på gummien er alle erstattet av fluoratomer, noe som gjør den til en gummi som ikke inneholder CH-bindinger i det hele tatt.
Hovedytelsesfunksjonene til FFKM:
1) Fysiske egenskaper
Tettheten til FFKM er 1.9-2.0g/cm³. Dens mekaniske egenskaper ved normal temperatur er nær egenskapene til vinylidenfluorid (VDF)-basert fluorgummi (FKM), men dens mekaniske høytemperaturegenskaper er bedre enn fluorgummi.
2) Kjemikaliebestandighet
Det er ingen hydrogenatomer i FFKM-molekylkjeden, og CC-bindingene er i utgangspunktet omgitt av et skall sammensatt av F-atomer, som viser sterk kjemisk inerthet og gjør polymeren betydelig motstandsdyktig mot kjemikalier.
3) Høy og lav temperatur motstand
Driftstemperaturen til FFKM er vanligvis 260 ~ 290 grader, og kan brukes intermitterende ved høye temperaturer på 316 grader. Siden et stort antall -OCF3-grupper blir introdusert i grenkjedene til molekylene, forbedres fleksibiliteten til molekylene og gummiens motstand mot lav temperatur forbedres.
4) Plasmamotstand
I et plasmamiljø viser den produktegenskaper med høy renhet og lav nedbør, og tåler plasmabombardement i lang tid.
fFKMs applikasjoner i halvledere
I halvlederproduksjon er påliteligheten til elastomere tetninger avgjørende fordi produksjonsstans for å erstatte tetninger er ekstremt kostbare. For å unngå potensielle risikoer er kravene til renslighet og renhet av sel svært strenge. Samtidig må tetningene kunne fungere lenge i trykkmiljøet med høy temperatur, høyt vakuum og etsende kjemiske gasser.
Når det gjelder halvlederapplikasjoner, fokuserer FFKM hovedsakelig på:
1) Gasstetning: I halvlederproduksjonsprosessen er prosessering og transport av ulike gasser avgjørende. FFKM O-ring brukes til å tette gassrørledninger, ventiler og skjøter for å sikre at gass ikke lekker og opprettholde prosessstabilitet.
2) Etsing og rengjøring: Etse- og rensetrinn i halvlederprosesser innebærer ofte bruk av etsende medier som sterke syrer eller alkalier. FFKM O-ring er mye brukt i utstyrsdeler som er i kontakt med disse mediene, slik som etsingskamre, rengjøringstanker, etc. på grunn av deres utmerkede korrosjonsbestandighet.
3) Væske- og kjemikalietransport: I halvlederproduksjon må ulike væsker og kjemikalier transporteres, slik som løsninger, løsemidler, rensevæsker osv. FFKM O-ring kan brukes til å tette utstyrskomponenter som rør, ventiler og pumper for å sikre sikker levering av media.
4) Høytemperaturmiljø: Visse trinn i halvlederprosessen må utføres i et miljø med høy temperatur, for eksempel varmebehandling, gløding, etc. FFKM O-ringer har utmerket høytemperaturmotstand og er i stand til å opprettholde sin elastisitet og tetning egenskaper ved høye temperaturer.
5) Ultrarent vannbehandling: I halvlederproduksjon brukes ultrarent vann til å rense og rense utstyr og materialer. FFKM O-ringer er mye brukt til å forsegle ultrarent vannbehandlingsutstyr for å forhindre inntrengning av urenheter og forurensninger.
På grunn av de høye kostnadene for FFKM-gummiråmaterialer, er arbeidsforholdene der FFKM-tetninger vanligvis brukes ekstremt tøffe. Under disse tøffe arbeidsforholdene er andre gummier utsatt for korrosjon, svelling, oppløsning, aldring og herding, etc., noe som resulterer i tetningssvikt og kan derfor ikke oppfylle forseglingskravene. På grunn av sin utmerkede korrosjonsbestandighet og høye temperaturbestandighet, kan FFKM-gummi ikke bare møte tetningskravene til tøffe arbeidsforhold, men også øke levetiden til tetninger og redusere kundenes vedlikeholdskostnader.
